產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：代理Otsuka大塚電子OPTM測厚儀

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
代理Otsuka大塚電子OPTM測厚儀 覆層膜厚儀 層測厚儀 厚度測量 非接觸式厚度測量?jì)x
詳情介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營(yíng)各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品，聯(lián)系人：張小姐

聯(lián)系電話(huà)：15902189399  


產(chǎn)品信息

特點(diǎn)
  • 膜厚測定范圍1nm~92μm（SiO2轉換）
  • 膜厚值高重復精度
  • 1 點(diǎn) 1 秒以?xún)鹊母咚贉y量
  • 微小點(diǎn)（*小 3μm）可瞄準圖案
  • *適合圖案晶圓厚度映射
  • 可以獲取用于圖案對齊的圖像

 

設備嵌入式圖像

測量數據圖像

 

測量點(diǎn)周邊圖像

 

自適應過(guò)程示例

CMP 流程

蝕刻工藝

沉積工藝

等

規格

OPTM 頭規格表


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