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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:OTSUKA大塚電子
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簡(jiǎn)單介紹:
塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計 OPTM(Optim)是一種利用顯微分光在微區域進(jìn)行**反射率測量,可實(shí)現高精度薄膜厚度和光學(xué)常數分析的裝置。 涂層膜的厚度和多層膜(如各種薄膜、晶圓和光學(xué)材料)可以無(wú)損或非接觸式測量。 測量時(shí)間可以高速測量 1 秒/點(diǎn)。 此外,它配備了一個(gè)軟件,即使是初學(xué)者可以很容易地分析光學(xué)常數。
詳情介紹:

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A21膜厚計

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A3膜厚計

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A2膜厚計

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塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A3膜厚計


特點(diǎn)
  • 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
  • 使用顯微分光進(jìn)行高精度**反射率測量(多層厚度、光學(xué)常數)
  • 1 點(diǎn) 1 秒以?xún)鹊母咚贉y量
  • 光學(xué)系統,在顯微條件下實(shí)現寬測量波長(cháng)范圍(紫外至近紅外)
  • 帶區域傳感器的**機制
  • 易于分析的向導,即使是初學(xué)者也能進(jìn)行光學(xué)常數分析
  • 具有可自定義測量序列的宏功能
  • 可分析復雜的光學(xué)常數(多點(diǎn)分析)
  • 支持 300mm 級
  • 支持各種定制

可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列

可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列


規格

手勢
類(lèi)型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長(cháng)范圍 230~800 nm 360~1100 nm 900~1600 nm
薄膜厚度范圍*1 1 nm~35 μm 7 nm~49 μm 16 nm~92 μm
樣本大小*2 高達 200×200×17 mm
點(diǎn)直徑 φ5、φ10、φ20、φ40

* 以上規格與自動(dòng)X(jué)Y級。

*1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉換。

*2 關(guān)于300毫米級,請聯(lián)系我們。


 

類(lèi)型 自動(dòng) XY 級類(lèi)型 固定框架類(lèi)型 嵌入式頭型
尺寸
(W×D×H)
556×566×618 mm 368×468×491 mm 210×441×474 mm
90×250×190 mm
*
重量 66 kg 38 kg 23 kg
4 kg
*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*交流/直流電源單元

塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

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