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- 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
- 使用顯微分光進(jìn)行高精度**反射率測量(多層厚度、光學(xué)常數)
- 1 點(diǎn) 1 秒以?xún)鹊母咚贉y量
- 光學(xué)系統,在顯微條件下實(shí)現寬測量波長(cháng)范圍(紫外至近紅外)
- 帶區域傳感器的**機制
- 易于分析的向導,即使是初學(xué)者也能進(jìn)行光學(xué)常數分析
- 具有可自定義測量序列的宏功能
- 可分析復雜的光學(xué)常數(多點(diǎn)分析)
- 支持 300mm 級
- 支持各種定制
可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列
規格
類(lèi)型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
波長(cháng)范圍 | 230~800 nm | 360~1100 nm | 900~1600 nm |
薄膜厚度范圍*1 | 1 nm~35 μm | 7 nm~49 μm | 16 nm~92 μm |
樣本大小*2 | 高達 200×200×17 mm | ||
點(diǎn)直徑 | φ5、φ10、φ20、φ40 |
* 以上規格與自動(dòng)X(jué)Y級。
*1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉換。
*2 關(guān)于300毫米級,請聯(lián)系我們。
類(lèi)型 | 自動(dòng) XY 級類(lèi)型 | 固定框架類(lèi)型 | 嵌入式頭型 |
尺寸 (W×D×H) |
556×566×618 mm | 368×468×491 mm |
210×441×474 mm 90×250×190 mm* |
重量 | 66 kg | 38 kg |
23 kg 4 kg* |
*大功耗 | AC100V±10V 500VA | AC100V±10V 400VA |
*交流/直流電源單元
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2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!