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  • 產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚膜厚儀

  • 產品型號：MCPD 系列嵌入式薄膜厚度頭
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：
我們的 MCPD 系列采用柔性光纖，可集成到從原位到內聯的各種位置和應用。 由于測量原理采用光譜干涉系統，因此在實現高測量可重復性的同時，還支持多層厚度測量。 采用專有算法，可實現高速實時監控。
詳情介紹：
特點
  • 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉換）
  • *短曝光時間1ms~ ※根據規格
  • 靈活的光纖光學系統，易于集成到半導體工藝裝置中
  • 從頂部進行遠程控制
  • *適合在拋光過程中檢測薄膜厚度端點

 

基本配置

 

MCPD 嵌入式基本配置

設備嵌入式圖像

MCPD 嵌入式圖像

測量示例

CMP 流程中實時監控的原位端點檢測

對象：布線工序中CMP研磨對象的各種薄膜



規格

MCPD-9800 規格
類型表達式 MCPD-9800
2285C 3095C 3683C 311C 916C
測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1100 900～1600
薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm 180nm～92μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲 〇
顏色測量 〇 ×
掃描時間 5ms～20s 1ms～10s
點直徑 φ1.2mm
纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。 取決于規格

 

MCPD-6800 規格
類型表達式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1000
薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 〇
掃描時間 16ms～65s
點直徑 φ1.2mm
纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。 取決于規格


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