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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚

  • 產(chǎn)品型號： OPTM-A1
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能 通過(guò)顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數） 1點(diǎn)1秒高速測量 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統（紫外至近紅外） 區域傳感器的**機制 易于分析向導，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數分析 獨立測量頭對應各種inline客制化需求 支持各種自定義 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚
詳情介紹：


顯微分光膜厚儀OPTM series


顯微分光膜厚儀OPTM series


















特點(diǎn)


頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過(guò)顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數）
1點(diǎn)1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統（紫外至近紅外）
區域傳感器的**機制
易于分析向導，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義



使用顯微光譜法在微小區域內通過(guò)**反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數分析?？赏ㄟ^(guò)非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶(hù)，也可容易出分析光學(xué)常數的軟件



OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長(cháng)范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時(shí)間 1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘燈+鹵素燈   鹵素燈
電源規格 AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺規格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺規格之主體部分)
重量 約 55kg（自動(dòng)樣品臺規格之主體部分）


*目前蘇州地區有樣機可供測試

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