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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：UVISEL Plus In-Situ在線(xiàn)監控橢偏儀浙江供應

  • 產(chǎn)品型號： UVISEL Plus In-Situ
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：HORIBA堀場(chǎng)
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
UVISEL Plus In-Situ在線(xiàn)監控橢偏儀浙江供應UVISEL Plus在線(xiàn)監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類(lèi)反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。UVISEL Plus在線(xiàn)橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現。
詳情介紹：

UVISEL Plus In-Situ在線(xiàn)監控橢偏儀浙江供應

UVISEL Plus在線(xiàn)監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類(lèi)反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。

UVISEL Plus在線(xiàn)橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現。

采用新型適配器組件可以實(shí)現臺式設備和在線(xiàn)系統的切換。

UVISEL Plus在線(xiàn)橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動(dòng)，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進(jìn)的建模和擬合處理功能，操作界面簡(jiǎn)單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進(jìn)的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

  • 高速、準確
  • 完整集成了實(shí)時(shí)測量、建模和報告軟件包
  • 便于在線(xiàn)和離線(xiàn)間切換

 

可獲得的信息

  • 薄膜厚度
  • 光學(xué)常數（n,k）
  • 材料組成
  • 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm
  • 光源：75W氙燈或150W氙燈
  • 探測系統：?jiǎn)吸c(diǎn)或實(shí)時(shí)光譜采集使用高靈敏度，寬動(dòng)態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監控薄膜沉積/蝕刻
  • 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
  • 機械適配器：CF35或KF40法蘭


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