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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：AMAYA天谷制作所太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)用AMAX1000S

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量 ? 通過(guò)采用 SiC 托盤(pán)解決重金屬污染問(wèn)題， 以及通過(guò)改進(jìn)托盤(pán)支架進(jìn)行背面旋轉措施 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點(diǎn)

超大規模生產(chǎn)設備可
運輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿(mǎn)足太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)需求。

為了實(shí)現大規模生產(chǎn)，我們開(kāi)發(fā)了專(zhuān)用分配頭，并開(kāi)發(fā)了雙臂輸送機構，
以實(shí)現超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。

我們開(kāi)發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽(yáng)能電池的薄晶圓上。

卸載機部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤(pán)分開(kāi)，并
具有冷卻功能。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±10%
支持的晶圓尺寸 156mm 方形，126mm 方形
氣體種類(lèi) SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 ～430℃
生產(chǎn)力 1500 張/小時(shí)
主要規格

設備尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
加熱機構 電阻加熱和燈加熱
卸載 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克
分散頭
（氣體噴嘴） 		A63 長(cháng)頭（*多可添加 3 個(gè)標準頭和 5 個(gè)頭）
蘇州代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

常州代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

昆山代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

無(wú)錫代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

南京代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

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