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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：國內銷(xiāo)售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
● 低溫 （150~300°C） 處理 ● 形成 高品質(zhì)的SiO2膜 低應力 、 無(wú)等離子體損傷 、 小顆粒 ? 降低 導入和維護成本 小占地面積 、 無(wú)需 真空 · 等離子體處理 ● 價(jià)格低廉 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點(diǎn)

4.5 代玻璃基板沉積設備，支持剛性和柔性設備，如 FPD。

搭載了2臺成膜有效寬度760mm的氣頭，采用吸附式加熱臺，
實(shí)現了溫度控制性±3%以?xún)取?

4.5 代玻璃基板可在 250°C 下以 25 片/小時(shí)或更高的吞吐量沉積 100nm SiO2 膜，
確保薄膜厚度均勻性在 10% 以?xún)取?

性能
薄膜厚度均勻性 ±10%
支持的晶圓尺寸 4.5 代
氣體種類(lèi) SiH4, O3, PH3, B2H6
沉積溫度 150～300℃
主要規格

設備尺寸 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H)
氣頭 搭載2個(gè)成膜有效寬度760mm氣頭
蘇州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

常州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

昆山代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

武漢代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

南京代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置


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