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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S ●6英寸~120張/小時(shí)吞吐量 ●采用SiC托盤(pán)的重金屬污染對策 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點(diǎn)

這是一種連續常壓
CVD設備，可滿(mǎn)足小直徑晶圓大規模生產(chǎn)設備的需求，每小時(shí)可產(chǎn)生120片吞吐量。

該設備通過(guò)非常集中的
輸送系統實(shí)現大規模生產(chǎn)，同時(shí)降低成本，從而實(shí)現了廣泛的沉積區域。

SiC 托盤(pán)的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。

標準配備托盤(pán)自動(dòng)更換功能，可縮短操作員的**性和維護時(shí)間。
此外，通過(guò)采用自動(dòng)提升頭底座的機制，可以輕松進(jìn)行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±4.0%
支持的晶圓尺寸 到 6 英寸
氣體種類(lèi) SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產(chǎn)力 ~120張/小時(shí)
主要規格

設備尺寸 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		A63 頭（標準 2 頭）
深圳代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

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氣相沉積設備

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