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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：代理AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率連續常壓CVD設備 AMAX800V

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：AMAYA天谷制作所
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
● 8英寸/小時(shí)100張高通量 ●采用SiC托盤(pán)，可應對重金屬污染， 實(shí)現長(cháng)期穩定工藝 ●提高維護性 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點(diǎn)

通過(guò)改進(jìn)輸送機制實(shí)現高吞吐量。

AMAX 型分散
頭中的 SiH，經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進(jìn)行熱化學(xué)反應4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤(pán)的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。

標準配備托盤(pán)自動(dòng)更換功能，可縮短操作員的**性和維護時(shí)間。
此外，通過(guò)采用自動(dòng)提升頭底座的機制，可以輕松進(jìn)行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±3.0%
支持的晶圓尺寸 （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸
氣體種類(lèi) SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產(chǎn)力 ~100張/小時(shí)
主要規格

設備尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		AMAX 頭（標準 3 頭）
氣相沉積設備氣相沉積設備

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