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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱(chēng)：日本AMAYA天谷制作所12 英寸連續常壓CVD設備AMAX1200
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠(chǎng)商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

●12英寸~56張/時(shí)的吞吐量 ●采用SiC托盤(pán)的重金屬污染對策

詳情介紹：

特點(diǎn)

它是傳統 AMAX 系列的*大直徑 12 英寸晶圓處理設備。

A63 型分散頭
中的 SiH 經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進(jìn)行熱化學(xué)反應4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤(pán)的采用使重金屬污染不難發(fā)生。此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。

標準配備托盤(pán)自動(dòng)更換功能，可縮短操作員的**性和維護時(shí)間。
此外，通過(guò)采用自動(dòng)提升頭底座的機制，可以輕松進(jìn)行
清潔。

性能

薄膜厚度均勻性

≦±3.0%

支持的晶圓尺寸

12 英寸

氣體種類(lèi)

SiH4, O2, PH3, B2H6, N2

沉積溫度

350～430℃

生產(chǎn)力

~56張/小時(shí)

主要規格

設備尺寸 2165mm(W) x 4788mm(D) x 2250mm(H)

加熱機構電阻加熱

卸載機器人CtoC輸送

分散頭
（氣體噴嘴） A63 頭（標準 3 頭）

沈陽(yáng)代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續常壓CVD設備AMAX1200

天津代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續常壓CVD設備AMAX1200

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產(chǎn)品名稱(chēng)：日本AMAYA天谷制作所12 英寸連續常壓CVD設備AMAX1200

特點(diǎn)

性能

主要規格