產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：國內長(cháng)期供應MIKASA旋轉刷涂機MS-B100

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：MIKASA旋轉涂布機
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
旋轉涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無(wú)刷，因此在潔凈室中污染良好，通過(guò)降低電機的發(fā)熱，在連續使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
詳情介紹：

產(chǎn)品規格

*大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
轉速（rpm） 20～8,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時(shí)）
電機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸
旋轉室內徑 φ220mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時(shí)間設置 999.9sec
**聯(lián)鎖 真空標準蓋
選項
滴落設備 不可安裝
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 259W×246H×330D
重量 10kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類(lèi)型> >支持<的型號
自動(dòng)滴落裝置（空氣驅動(dòng)） 1 臂  
2 臂  
自動(dòng)滴落裝置（支架類(lèi)型）    
邊緣沖洗    
反向沖洗    
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開(kāi)關(guān)   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風(fēng)扇   ○
緊急停止開(kāi)關(guān)   ○
大功率電機    

膜厚分布數據

膜厚分布數據

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使用的型號 MS-B100
薄膜厚度測量設備 菲梅特里克斯F50
電阻 OFPR-800LB（東京應化社制）
電路板尺寸 φ4英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.8％
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