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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：代理Osakavacuum大阪真空超高真空型TG-MU系列

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：OSAKAVACUUM大阪真空
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：
■ 適用于所有特高壓應用 TG-MU系列旨在通過(guò)減少材料的放氣和提高氫氣壓縮效率，有效地將輕質(zhì)氣體從高真空區域抽真空到超高真空區域。 極限真空可以在短時(shí)間內實(shí)現10-9 Pa順序（在10-11 Torr）區域。
詳情介紹：

應用

- 分析儀器，表面分析和特高壓研發(fā)。

- 特高壓半導體薄膜工藝和MEMS研發(fā)

- 能源研究、加速器、核聚變等 



 

TG900MU
 
TG1300MU
 
Inlet flange

CF160
 
CF200
 
Volume flow rate

N2 (L/s)

900
 
1300
 
N2 (with protective 
screen) (L/s)

860
 
1230
 
H2 (L/s)

1050
 
1200
 
Max. compression ratio

N2 
1×108
 
H2 
6.0×104
 
Base pressure

(Pa/Torr)

< 1×10-8/< 7.5×10-11
 
Max. throughput※1 

N2(sccm)

3000
 
Startup time (min)

4-5
 
Shutdown time (min)

4-5
 
Max. backing pressure

(Pa/Torr)

500/3.8
 
Recommended backing vacuum 
pump (L/min)

≧250
 
Weight (kg)

42
 
Controller

TC010MA

  • *1 ： 1000L/min的**真空泵。

  • *2 ： 尺寸與標準尺寸相同。

聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號）
羅茨真空泵、油封旋轉真空泵、液環(huán)真空泵、油擴散泵、噴射器、干式真空泵、真空系統、真空設備





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