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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SAMCO 平行平板型RIE裝置 RIE-200C

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：
RIE-200C 是一種盒式設備，用于大規模生產(chǎn)，基于 RIE-10NR 的經(jīng)驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。
詳情介紹：

概述

RIE-200C 是一種盒式設備，用于大規模生產(chǎn)，基于 RIE-10NR 的經(jīng)驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。 該器件可對各種硅薄膜（如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN）進(jìn)行高精度蝕刻和灰化。 采用雙盒式、雙臂機器人，可實(shí)現高吞吐量，是PLC控制下全自動(dòng)運行和過(guò)程參數保存的高性能裝置。

特點(diǎn)

配備大氣盒室

盒式設備廢除了通常配備的負載鎖室，并配備了大氣盒室和大氣輸送機器人。 可自動(dòng)處理高達 ±8 英寸的晶圓，并可安裝 2 個(gè)盒式磁帶。

全自動(dòng)駕駛

操作通過(guò)觸摸屏實(shí)現全自動(dòng)運行 ，通過(guò)PLC控制可進(jìn)行過(guò)程管理和數據記錄。

應用示例

? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

光刻膠灰化

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