產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SAMCO氯系氣體對應的負載鎖定式RIE裝置RIE-200NL

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車(chē)
簡(jiǎn)單介紹：
RIE-200NL 是一種負載鎖定設備，基于 RIE-10NR 的經(jīng)驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。
詳情介紹：

概述

RIE-200NL 是一種負載鎖定設備，基于 RIE-10NR 的經(jīng)驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。 該器件可高精度蝕刻各種硅薄膜（如 Si 和 Poly-Si）以及化合物半導體（如 GaN 和 GaAs）。 雖然價(jià)格低廉，但 PLC 控制可存儲所有自動(dòng)操作和過(guò)程參數，具有卓 越的高性能性?xún)r(jià)比。

特點(diǎn)

配備路鎖室

氯氣工藝是可能的。 此外，還實(shí)現了良好的工藝可重復性。

? 8“ 晶圓加工

雖然是緊湊設計的節省空間的設備，但可以加工高達 ±8“ 晶圓。

全自動(dòng)駕駛

操作通過(guò)觸摸屏實(shí)現全自動(dòng)運行 ，通過(guò)PLC控制可進(jìn)行過(guò)程管理和數據記錄。

應用示例

? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

蝕刻化合物半導體，如GaN、GaAs和InP

產(chǎn)品留言
標題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話(huà)
內容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!

蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號
精品国精品自拍自在线|色偷一区国产精品|91国在线啪精品一区|久久狠狠高潮亚洲精品|亚洲大成色www永久网站