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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SAMCO 平行平板型RIE裝置 RIE-10NR

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
RIE-10NR 是一種平行平板反應離子蝕刻 （RIE）設備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。
詳情介紹：

概述

RIE-10NR 是一種平行平板反應離子蝕刻 （RIE）設備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。 該設備是一種經(jīng)濟高效的 RIE 設備，可通過(guò) PLC 控制存儲自動(dòng)操作和過(guò)程參數。

特點(diǎn)

? 可加工 8 英寸晶圓

雖然這是一個(gè)緊湊的設計節省空間的設備，它允許加工高達±8英寸的晶圓。

自動(dòng)駕駛

通過(guò)觸摸屏操作實(shí)現自動(dòng)操作 ， 可通過(guò)PLC控制進(jìn)行過(guò)程管理和數據記錄 。

豐富的交付記錄

自發(fā)布以來(lái)，該設備在改進(jìn)的同時(shí)不斷發(fā)展，擁有 300 多臺記錄。

應用示例

? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

半導體激光器的制造

缺陷分析

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