產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SAMCO ICP 蝕刻設備 RIE-800iP

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車(chē)
簡(jiǎn)單介紹：
高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場(chǎng)）作為放電形式。 該設備具有負載鎖室，具有出色的工藝可重復性和穩定性。
詳情介紹：

概述

高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場(chǎng)）作為放電形式。 該設備具有負載鎖室，具有出色的工藝可重復性和穩定性。

特點(diǎn)

新型ICP源「HSTC?： Hyper Symmetrical Tornado Coil」

高射頻功率（2 kW 或更高）可高效、穩定地應用，以實(shí)現良好的均勻性。

大流量排氣系統

通過(guò)采用與反應室直接相連的排氣系統，實(shí)現了從小流量、低壓區域到大流量、高壓范圍的各種工藝窗口。

下部電極升降機構

優(yōu)化晶圓和等離子體之間的距離，確保良好的平面內均勻性。

易于維護的設計

TMP（渦輪分子泵）易于單元化和更換。

應用示例

? 高精度加工化合物半導體，如 GaN、GaAs 和 InP

?高速加工SiC、SiO

? 蝕刻難蝕刻材料，如鐵電體（PZT、BST、SBT、BT）和電極材料（Pt、Au、Ru、Al）

化合物半導體晶圓的等離子切割，薄型化

選項

難蝕刻材料用特殊電極機構

產(chǎn)品留言
標題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話(huà)
內容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!

蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號
精品国精品自拍自在线|色偷一区国产精品|91国在线啪精品一区|久久狠狠高潮亚洲精品|亚洲大成色www永久网站