產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SAMCO液體源CVD設備 PD-200STL

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：SAMCO薩姆肯
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車(chē)
簡(jiǎn)單介紹：
PD-200STL 是一種高速等離子CVD設備，用于通過(guò)液體源形成氧化硅 （SiO2） 膜和氮化硅 （SiN） 膜。
詳情介紹：

概述

PD-200STL 是一種高速等離子CVD設備，用于通過(guò)液體源形成氧化硅 （SiO2） 膜和氮化硅 （SiN） 膜。 陰極側護套電場(chǎng)產(chǎn)生的離子能量允許在低溫下形成低應力厚膜。 該裝置具有負載鎖室，可實(shí)現出色的可重復性沉積。

特點(diǎn)

  • 良好的薄膜厚度均勻性和穩定性
  • 高速沉積和應力控制
  • 低溫沉積（80°C~）
  • 階梯覆蓋性?xún)?yōu)異的成膜
  • 控制折射率（使用 Ge、P 和 B）

應用示例

  • SAW 器件的溫度補償膜、鈍化膜
  • MEMS掩膜和氧化膜犧牲層
  • 三維封裝中TSV（Si貫通通孔）側壁的絕緣膜

  • 光波導芯層、包層形成

產(chǎn)品留言
標題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話(huà)
內容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!

蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號
精品国精品自拍自在线|色偷一区国产精品|91国在线啪精品一区|久久狠狠高潮亚洲精品|亚洲大成色www永久网站