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ULVAC愛(ài)發(fā)科半導體真空泵株式會(huì )社

日期：2025-04-24 18:21

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摘要：ULVAC愛(ài)發(fā)科半導體真空泵株式會(huì )社:油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵 ,ULVAC愛(ài)發(fā)科油式旋片真空泵、ULVAC愛(ài)發(fā)科羅茨泵、ULVAC愛(ài)發(fā)科干式真空泵及活塞泵.

株式會(huì )社ULVAC（ULVAC），是1952年由日本生命保險公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。真空設備產(chǎn)品主要含油式旋片真空泵、羅茨泵、干式真空泵及活塞泵等，應用領(lǐng)域有平板顯示器，半導體，電子零部件，太陽(yáng)能電池，汽車(chē)，醫療，食品等多個(gè)行業(yè)。

因進(jìn)口真空泵價(jià)格昂貴，返廠(chǎng)維修時(shí)間長(cháng)且價(jià)格高等原因，再加上國內真空技術(shù)發(fā)展迅速，眾多客戶(hù)轉而使用國產(chǎn)真空泵替代進(jìn)口真空泵，或使用進(jìn)口真空泵但在國內維修。自2003年創(chuàng )辦東莞大路通起，公司即承接各式進(jìn)口真空泵維修,如:英國愛(ài)德華(Edwards)、德國普旭(Busch)、法國阿爾卡特(Alcatel)、德國萊寶(Leybold)、德國里其樂(lè )(Rietschle)、德國貝克(Becker)、日本愛(ài)發(fā)科(Ulvac)、日本荏原(EBARA)、日本卡西亞瑪(Kashiyama)等。維修**專(zhuān)業(yè)，價(jià)格優(yōu)惠，維修后專(zhuān)業(yè)檢測，維修產(chǎn)品質(zhì)量有保證。

ULVAC愛(ài)發(fā)科集團是一家以在各領(lǐng)域獲得廣泛應用的真空技術(shù)為基礎，以開(kāi)創(chuàng )精細加工工藝為追求的研究開(kāi)發(fā)型綜合企業(yè)集團。

長(cháng)期以來(lái)，作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum）的真空技術(shù)先驅?zhuān)覀円噪娮蛹夹g(shù)以及信息通信技術(shù)為引導，以設備生產(chǎn)為中心，在能源、環(huán)保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域，提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。

特別是在半導體制造設備以及平面顯示器等制造設備方面，我們提供制造工藝中不可或缺的產(chǎn)品群。另外在技術(shù)開(kāi)發(fā)方面，除了設備以外,還涵蓋到材料、分析評價(jià)以及售后服務(wù)等不同領(lǐng)域，并積極開(kāi)展愛(ài)發(fā)科**解決方案。因此，為了提高客戶(hù)的滿(mǎn)意度，網(wǎng)羅世界專(zhuān)門(mén)企業(yè)的愛(ài)發(fā)科集團正力圖提供不同的綜合**解決方案。

展望21世紀的技術(shù)藍圖，ULVAC愛(ài)發(fā)科集團將次世代能源、精細化工技術(shù)、精密機械電子技術(shù)以及生物工程技術(shù)進(jìn)行復合，進(jìn)一步擴大了技術(shù)應用的寬度和深度，同時(shí)推進(jìn)愛(ài)發(fā)科解決方案的精細化和高度化。另外，為了對應全球化的產(chǎn)業(yè)結構變化，我們將進(jìn)一步鞏固以解決客戶(hù)課題為使命的研究開(kāi)發(fā)型企業(yè)的地位。

ULVAC愛(ài)發(fā)科半導體真空泵株式會(huì )社
ULVAC愛(ài)發(fā)科集團，是面向各個(gè)行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設備、真空儀器、材料、分析設備，為解決客戶(hù)難題，提升客戶(hù)企業(yè)價(jià)值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團。

在愛(ài)發(fā)科ULVAC集團中，Components Business Unit是負責開(kāi)發(fā)、制造、銷(xiāo)售構成綜合性真空設備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團體。真空設備的性能，是由追求***的真空技術(shù)的各種真空配套機器來(lái)支撐的。

ULVAC愛(ài)發(fā)科半導體真空泵株式會(huì )社主要產(chǎn)品有：
真空泵(低?中真空)
ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵(高真空)
真空計
氣體分析儀（工藝氣體監測儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科檢漏儀
高速光譜橢偏儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器
真空閥
ULVAC愛(ài)發(fā)科DC電源
DC脈沖電源
MF電源

ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jì)和信賴(lài)的LR/HR系列為基礎設計的，面向一般產(chǎn)業(yè)設計的簡(jiǎn)單結構的泵。
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過(guò)**的螺桿形狀和節電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
愛(ài)發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列，根據獨有的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合*多可節省約88%的電力。另外，提高了維護性和降低了噪音，全部型號CE對應可能（可選）。
EB槍?EB電源
真空搬送機器人
分子間相互作用定量QCM設備
微量精密攪拌器
小型蒸發(fā)設備
低溫設備(CRYO)
熱處理?熱物性評估裝置
ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接觸的，可長(cháng)時(shí)間穩定運轉。
DIS-501
ULVAC愛(ài)發(fā)科半導體真空泵株式會(huì )社:
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實(shí)現操作運行。
?可實(shí)現高極限真空。
?低振動(dòng)低噪音。
?維護周期可通過(guò)計時(shí)表控制。
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